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事業紹介

産業ガス事業

液化酸素、液化窒素、液化アルゴン、液化炭酸ガス、高純度メタン、水素オンサイトなどを多分野にわたり取り扱っています。

高純度メタン製造販売

高純度メタンガスは太陽電池などの電子デバイス材料の製造工程に利用されています。
ナノ粒子ダイヤモンド、グラエフェン、単結晶ダイヤモンドなどの最先端技術に高純度メタンガスが注目されています。

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概要

大阪ガスリキッドでは、大阪ガスが輸入しているLNG(液化天然ガス) を原料とする超高純度メタンの製造プラントを大阪ガス泉北製造所内に設置し、不純物を極限まで除去した超高純度メタンを生産しています。
超高純度メタンは超硬工具、感光体ドラム、アモルファス太陽電池などの製造時に炭素源として使用されていますが、年々、高純度で安定した品質のものが求められています。
また、ニューセラミックス、ダイヤモンド薄膜などの先端技術分野においても、ピュアーな炭素源として今後ますます需要が拡大し、その市場は将来大きく成長するものと見込まれています。

  • 概要:原料LNG→精留・充填/ダイヤモンド膜の優れた特性を利用した先端材料開発/質量分析計により製造プロセス及び製品ガスの品質管理を行っています。/高純度メタンガス→プラズマCVD法→ナノ粒子ダイヤモンド・グラフェン・単結晶ダイヤモンド

特長

超高純度(純度99.9999vol%以上):多様な純度メニューを用意しています(BOG、2N、3N、4N、5N5、6N)。

品質の安定性:高純度分析計による品質の自動監視・製品分析を行っています。(ISO9001認証取得)

供給の安定性:大阪ガスが輸入しているLNGを原料とし、安定した供給をしています。

充填圧力:充填圧力14.7MPaにより、取換え頻度の低減が可能です。

品質

  6N 5N5 4N 3N
規格値 99.9999vol%以上 99.9995vol%以上 99.99vol%以上 99.9vol%以上
N2 <0.5ppm <2ppm <20ppm <700ppm
02 <0.02ppm <0.1ppm <1ppm <10ppm
Ar <0.02ppm <0.1ppm <1ppm <1ppm
CO2 <0.02ppm <0.1ppm <1ppm <1ppm
C2H6 <0.06ppm <0.1ppm <1ppm
C3H8 <0.09ppm <0.1ppm <1ppm
H2O 露点<−72℃
<2ppm
露点<−72℃
<2ppm
露点<−72℃
<2ppm
露点<−65℃
<5ppm
  2N BOG
規格値 99.0vol%以上 96.0vol%以上

容器の種類

 

10ℓボンベ(充填圧力 11.7MPa)

47ℓボンベ(充填圧力 14.7MPa)

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  • 産業ガス事業
  • 産業ガス販売
  • 水素オンサイト
  • 高純度メタン製造販売
  • 高純度ガス精製機器
  • ドライアイス洗浄装置
  • マイクロバブル発生ノズル(MB)
  • 炭酸事業
  • 低温・凍結粉砕 受託加工事業
  • 技術開発
  • 大阪ガスリキッドグループ ナビ

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