大阪ガスリキッド株式会社 OSAKA GAS LIQUID Co., Ltd.

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高純度メタン製造・販売

産業ガスは大阪ガスリキッドへ 産業ガスは大阪ガスリキッドへ

最先端技術に高純度メタン

高純度メタンガスは太陽電池などの電子デバイス材料の製造工程に利用されています。
ナノ粒子ダイヤモンド、グラフェン、単結晶ダイヤモンドなどの最先端技術に高純度メタンガスが注目されています。

品質に自信があります 高純度メタンのことなら大阪ガスリキッドへ!

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概 要

大阪ガスリキッドでは、大阪ガスが輸入しているLNG(液化天然ガス) を原料とする超高純度メタンの製造プラントを大阪ガス泉北製造所内に設置し、不純物を極限まで除去した超高純度メタンを生産しています。
超高純度メタンは超硬工具、感光体ドラム、アモルファス太陽電池などの製造時に炭素源として使用されていますが、年々、高純度で安定した品質のものが求められています。
また、ニューセラミックス、ダイヤモンド薄膜などの先端技術分野においても、ピュアーな炭素源として今後ますます需要が拡大し、その市場は将来大きく成長するものと見込まれています。

LNGタンカー・高純度メタン製造プラント(大阪ガス泉北製造所)・高純度メタン充填容器
製品バリエーション
主要用途・アモルファスSiC・超硬工具・高純度ガス・標準ガス・ダイヤモンド膜・テスト用
ダイヤモンド膜の優れた特性を利用した先端材料開発

特 長

  • 超高純度(99.9999vol%以上)

    多様な純度レベルを用意しています。(BOG,2N,3N,4N,5N5,6N)

  • 品質の安定性

    高純度分析計による品質の自動監視・製品分析を行っています。(ISO9001認証取得)

  • 供給の安定性

    大阪ガスが輸入しているLNGを原料とし、安定した供給をしています。

  • 充填圧力

    充填圧力14.7MPaにより、取換え頻度の低減が可能です。

品 質

6N 5N5 4N 3N
規格値 99.9999vol%以上 99.9995vol%以上 99.99vol%以上 99.9vol%以上
N2 <0.5ppm <2ppm <20ppm <700ppm
O2 <0.02ppm <0.1ppm <1ppm <10ppm
Ar <0.02ppm <0.1ppm <1ppm <1ppm
CO2 <0.02ppm <0.1ppm <1ppm <1ppm
C2H6 <0.06ppm <0.1ppm <1ppm
C3H8 <0.09ppm <0.1ppm <1ppm
H2O 露点<−72℃
<2ppm
露点<−72℃
<2ppm
露点<−72℃
<2ppm
露点<−65℃
<5ppm
2N BOG
規格値 99.0vol%以上 96.0vol%以上

容器の種類

  • ●10ℓボンベ(充填圧力 11.7MPa)

  • ●47ℓボンベ(充填圧力 14.7MPa)

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