- 大阪ガスリキッド ホーム
- 事業紹介
- 産業ガス事業｜高純度メタン製造販売
高純度メタンガスは太陽電池などの電子デバイス材料の製造工程に利用されています。
ナノ粒子ダイヤモンド、グラエフェン、単結晶ダイヤモンドなどの最先端技術に高純度メタンガスが注目されています。
大阪ガスリキッドでは、大阪ガスが輸入しているLNG(液化天然ガス) を原料とする超高純度メタンの製造プラントを大阪ガス泉北製造所内に設置し、不純物を極限まで除去した超高純度メタンを生産しています。
超高純度メタンは超硬工具、感光体ドラム、アモルファス太陽電池などの製造時に炭素源として使用されていますが、年々、高純度で安定した品質のものが求められています。
また、ニューセラミックス、ダイヤモンド薄膜などの先端技術分野においても、ピュアーな炭素源として今後ますます需要が拡大し、その市場は将来大きく成長するものと見込まれています。
超高純度(純度99.9999vol％以上)：多様な純度メニューを用意しています(BOG、2N、3N、4N、5N5、6N)。
品質の安定性：高純度分析計による品質の自動監視・製品分析を行っています。（ISO9001認証取得）
供給の安定性：大阪ガスが輸入しているLNGを原料とし、安定した供給をしています。
充填圧力：充填圧力14.7MPaにより、取換え頻度の低減が可能です。
| 6N | 5N5 | 4N | 3N | |
| 規格値 | 99.9999vol%以上 | 99.9995vol%以上 | 99.99vol%以上 | 99.9vol%以上 |
| N2 | ＜0.5ppm | ＜2ppm | ＜20ppm | ＜700ppm |
| 02 | ＜0.02ppm | ＜0.1ppm | ＜1ppm | ＜10ppm |
| Ar | ＜0.02ppm | ＜0.1ppm | ＜1ppm | ＜1ppm |
| CO2 | ＜0.02ppm | ＜0.1ppm | ＜1ppm | ＜1ppm |
| C2H6 | ＜0.06ppm | ＜0.1ppm | ＜1ppm | — |
| C3H8 | ＜0.09ppm | ＜0.1ppm | ＜1ppm | — |
| H2O | 露点＜−72℃ ＜2ppm |
露点＜−72℃ ＜2ppm |
露点＜−72℃ ＜2ppm |
露点＜−65℃ ＜5ppm |
| 2N | BOG | |
| 規格値 | 99.0vol%以上 | 96.0vol%以上 |
10ℓボンベ(充填圧力 11.7MPa)
47ℓボンベ(充填圧力 14.7MPa)
大阪ガスリキッドへのお問い合わせ
弊社へのお問い合わせはお電話、またはメールにて受け付けております。
お気軽にご連絡ください。
