不純物濃度1 ppb以下
超高純度ガスをお手軽に
オンサイトで超高純度ガスを精製


産業に必要な超高純度ガスを
安定供給する装置
微量分析装置のゼロガス、溶接用防爆シールドガス、超精密加工技術を支える基盤として重要なさまざまな高純度ガスを
手軽なインライン方式機器により不活性ガス(アルゴン、窒素etc…)、水素(H2)の
不純物成分を除去し超高純度に精製することができます。

超高純度ガス機器の導入でのお悩み
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超高純度ガスを使いたいが
コストが心配 -
精製機器を置く
スペースがない -
超高純度ガスを
少量だけ使いたい -
インライン式では流量が
足りないがコストが心配 -
ランニングコストや
メンテナンス性も
気になる
大阪ガスリキッドの
超高純度ガス精製機器で解決
超高純度ガス精製機器の特長
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超高純度ガスを精製
各不純物濃度1ppb以下
※不純物対象…CO,CO2,O2,H2O
トータル10ppb(8N)以下複数の吸着剤の組み合わせにより、超高純度のガスを精製します。
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経済的・コストダウンに貢献
吸着剤が再生可能なため買替不要
構造シンプル化で製作コスト削減
ユーティリティが不要
吸着材の再生が可能で、イニシャル・ランニングコストともに貢献いたします。
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場所を取らないコンパクトな
インライン方式既存のガス設備に取り付けるだけで仕様が可能です。新開発の触媒の利用で、さらなるコンパクト化を実現しました。
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不活性ガス・水素用の
2種類に対応精製対象ガスは、不活性ガス・水素用など様々なガスでご利用いただけます。毎分3リットルから300リットルまでのラインナップです。
主な用途
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微量分析計用
キャリアガス
ゼロガス -
溶接用
シールドガス -
雰囲気ガス
パージガス
各種半導体製造装置・CVD装置等
(高純度を要求される装置に)
機器ラインナップ
再生作業不要な
「連続供給タイプ」もございます。
- ・2つの精製筒を自動的に切り換えることにより
連続精製が可能 - ・お客様のご要望にあわせたオーダーメイド
仕 様
機 種 | ファインピュアラー | ||||||||||||||||||||||||||||||
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ガス種 | 不活性ガス用、水素用 | ||||||||||||||||||||||||||||||
流 量 | 3~300NL/min | ||||||||||||||||||||||||||||||
ユーティリティー | 不 要 | ||||||||||||||||||||||||||||||
精製保証値 |
(単位ppb) |
[ファインピュアラー ゲッター式]
FPI-1GTR

【特 長】
①不純物を極限まで除去
適用ガス | He、Ar |
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入口ガス 純度条件 |
高純度ガス (5Nガスボンベ相当以上) |
出口ガス 純度条件 |
トータル 10ppb(8N)以下 |
除去対象不純物 | H2 ,N2 , CH4 , O2 , CO , CO2 , H2O |
②電源BOX一体型
電源BOXを標準装備し、構造をシンプル化
③安全機能付き
ヒーターの過昇温を自動で防止します
④RoHS対応可能
⑤1週間で納品可能※
※複数台ご発注の場合はご相談下さい
本製品は再生不可となっております。
仕 様
機 種 | FPI-1GTR |
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最大圧力 | 1.0MPaG未満 |
常用圧力(推奨圧力) | 0.5MPaG |
使用流量範囲 | 0.1NL※~1.0NL/min(0.1 NL未満の場合はご相談ください) |
寸法 | Φ 114mm × H 472mm |
重量 | 7.8㎏ |
電源 | AC100V |
消費電力 | 55W |
接続口径 | 1/16inch Swagelok(メス) |
※NLとは273.15K(0℃)で101.325kPaGの状態を示します
ご採用先さま
各種メーカーさま、大学研究機関さまでご採用
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