不純物濃度1 ppb以下
超高純度ガスをお手軽に
オンサイトで超高純度ガスを精製
ガス精製器とは？
ガスの中の不純物を取り除き、より高純度なガスを供給できる装置のことです。
ファインピュアラーは、さまざまな高純度ガスを手軽なインライン方式機器により
不活性ガス、水素中の不純物成分を除去し超高純度に精製することができます。
ガス精製器導入でのお悩み
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超高純度ガスを使いたいが
コストが心配
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精製器を置く
スペースがない
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超高純度ガスを
少量だけ使いたい
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ランニングコストや
メンテナンス性も
気になる
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すぐに精製器が欲しいが、
納期に間に合うか心配
大阪ガスリキッドの
超高純度ガス精製器で解決
超高純度ガス精製器の特長
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短納期
約3週間で納品可能（国内製造）
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再生可能
不純物吸着後は指定住所に送るだけ、コスト削減、環境保全に貢献
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低価格
構造シンプル化で製作コスト削減
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インライン型
お手持ちの機器、前段に簡単設置
| ■適合ガス [不活性ガス用 / 水素用] | |
|---|---|
| FPI型 | N2、Ar、He、Ne、Xe、Kr |
| FPH型 | H2 |
| ■入口ガス純度条件 | 高純度ガス（5Nガスボンベ相当以上） |
|---|---|
| ■精製能力 | 各不純物濃度1ppb以下 ※不純物対象：CO、CO2、O2、H2O |
用途例
-
微量分析計用
キャリアガス
ゼロガス -
溶接用
シールドガス -
雰囲気ガス
パージガス
各種半導体製造装置・CVD装置等
（高純度を要求される装置に）
機器ラインナップ
超高純度ガス精製器
[ファインピュアラー FPI/FPH]
![超高純度ガス精製器 [ファインピュアラー FPI/FPH]](../img/product/gas02/img-09.jpg)
パンフレットダウンロード
【特 長】
簡単に不純物をppbレベルまで除去可能
適合ガス：不活性ガス、水素
仕 様
| 機 種 | ファインピュアラー FPI/FPH | ||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ガス種 | 不活性ガス用（N2/Ar/He/Ne/Xe/Kr）、水素用（H2） | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 流 量 | 3～300NL/min | ||||||||||||||||||||||||||||||
| ユーティリティー | 不 要 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 入口ガス純度条件 | 高純度ガス（5Nガスボンベ相当以上） | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 精製能力 |
(単位ppb) |
※詳細は、パンフレット及び取り扱い説明書をご覧ください。
[ファインピュアラー ゲッター式]
FPI-1GTR
![[ファインピュアラー ゲッター式]FPI-1GTR](../img/product/gas02/img-11.jpg)
パンフレットダウンロード
【特 長】
①不純物を極限まで除去
| 適用ガス | He、Ar |
|---|---|
| 入口ガス 純度条件 |
高純度ガス （5Nガスボンベ相当以上） |
| 出口ガス 純度条件 |
トータル 10ppb（8N）以下 |
| 除去対象不純物 | H2 ,N2 , CH4 , O2 , CO , CO2 , H2O |
②電源BOX一体型
電源BOXを標準装備し、構造をシンプル化
③安全機能付き
ヒーターの過昇温を自動で防止します
④RoHS対応可能
⑤1週間で納品可能※
※複数台ご発注の場合はご相談下さい
本製品は再生不可となっております。
仕 様
| 機 種 | FPI-1GTR |
|---|---|
| 最大圧力 | 1.0MPaG未満 |
| 常用圧力（推奨圧力） | 0.5MPaG |
| 使用流量範囲 | 0.1NL※～1.0NL/min |
| 寸法 | Φ 114mm × H 472mm |
| 重量 | 7.8㎏ |
| 電源 | AC100V |
| 消費電力 | 55W |
| 接続口径 | 1/16インチ Swagelok(メス) |
※詳細は、パンフレット及び取り扱い説明書をご覧ください。
※NLとは273.15K（0℃）で101.325kPaGの状態を示します
動画紹介
ガス精製器のご紹介
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