脱酸素・脱水分精製器
酸素・水分を狙い打ち、
交換時期が一目でわかるシリーズをラインナップ
※水分除去用の一部製品は、交換時期を色の変化で確認いただけません。
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低価格
徹底したコスト管理
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短納期
約2週間で納品可能
（国内製造） -
再生可能
低コストで繰り返し使用可能
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低純度でも
ご使用可能低純度ガスでも対象物を吸着除去
用途例
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1. 熱処理炉、還元炉等各種雰囲気ガスの脱酸素や乾燥
2. 溶接用アルゴンガスの脱酸素や乾燥
3. 生合成
4. スパッタリング、CVD用
5. 酸素濃度計のゼロ点補正用 -
6. 熱分析計用
7. その他半導体用キャリアガス
8. ガスクロ用キャリアガス
9. 各種電球用充填ガスの脱酸素等
10．各種ガスの脱水
超高性能脱酸素カラム
FPGCは、配管の途中にセットするだけで処理ガスの酸素濃度にかかわらず、
ガス中の酸素を瞬時に吸着し、出口側の酸素濃度を2ppb以下にする超高性能脱酸素カラムです。
酸素を吸着すると淡緑色から茶褐色に変色しますので使用状況が一目で判ります。
| 外観 |  |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 機 種 名 |
型式 | FPGC-70X | FPGC-RP | FPGC-RX | FPGC-SLX | ||||
| 入 口 条 件 |
適合ガス | He / H2 / Ne / Ar / N2 / Kr / Xe / D2 / CH4 / C2H6 / C3H8 / n-C4H10 / C3H6 / C4H6 | |||||||
| 不適合ガス | O2 / N2O / NO2 / CO / CI2 / Br2 / HCI / HBr / SiH4 / NH3 / SO2 / H2S / その他高反応性ガス | ||||||||
| 精 製 能 力 |
除去対象不純物 | O2 | |||||||
| 出口ガス 不純物濃度 | 2ppb以下 | ||||||||
| O2吸着量 | 50mL | 60mL | 200mL | 1500mL | |||||
| 使 用 条 件 |
流量範囲※1 | 5NL/min以下 | 10NL/min以下 | ||||||
| 圧力範囲 | 0.5MPaG以下 | ||||||||
| 使用温度範囲 | 5 ～ 35 ℃ | ||||||||
| 機 器 仕 様 |
サイズ※2 | 標準 | φ42mm× | 165mm | φ25mm× | 420mm | φ42mm× | 393mm | Φ60mm × 390mm |
| VCR® | 204mm | 463mm | 433mm | - | |||||
| 重量 | 220g | 260g | 500g | 930g | |||||
| 接続 | 標準 | 1/4インチSwagelok®チューブ継手 | |||||||
| VCR® | 1/4インチVCR® | - | |||||||
| 精製器材質 | パイレックス管にアクリルパイプで保護 | ||||||||
※1 標準状態（0℃、101.325 kPa）での流量（L/min）を示します。 ※2 取付長さ
●ここに掲載された数値は実測に基づく代表値であり、規格値ではありません。
※詳細は、パンフレット及び取り扱い説明書をご覧ください。
超高性能ドライヤー・脱水分と脱酸素
FPDC（DCシリーズ）は、各種ガス中の水分を吸着除去する高性能ドライヤーです。
到達露点は－100℃以下（入口露点－70 ℃、流量0.4 L/min での出口側の水分濃度をキャビティーリングダウン分光法水分計（CRDS）で測定した値）になります。
FPDC-SXCは、水分を吸着すると乳白色に変色します。
FPCCシリーズ「FPCC-X」は、FPDCとFPGCが一体化したものです。
最初にFPDCで水分を除去し、FPGCで酸素を除去します。
| 外観 |  |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 機 種 名 |
型式 | FPDC-A4 | FPDC-L4 | FPDC-SXC | FPCC-X | ||||
| 用途 | 一般ガス用 | 大流量用 | 高湿度用 | 脱水分と脱酸素 | |||||
| 入 口 条 件 |
適合ガス | He / H2 / Ne / Ａr / O2 ※3 / N2 / Kr / Xe / CH4 / C2H6 / C3H8 / n-C4H10 | |||||||
| 不適合ガス | N2O / NO2 / CO / CO2 / CI2 / Br2 / HCI / HBr / SiH4 / NH3 / SO2 / H2S / D2 / C2H2 / C2H4 / C3H6 / C4H6 | ||||||||
| 精 製 能 力 |
除去対象不純物 | 水分 | O2、水分 | ||||||
| 出口ガス 不純物濃度 | 水分：到達露点 -100℃以下 | 水分：到達露点 -64℃以下 | O2：2ppb以下 水分：到達露点 -100℃以下 |
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| 性能 | 入口露点-76℃の 処理量1000m3 |
入口露点-76℃の処理量4000m3 | 入口露点8℃の水分吸収量25g | O2吸着量 100mL 入口露点-76℃の処理量500m3 |
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| 使 用 条 件 |
流量範囲※1 | 10NL/min以下 | 40NL/min以下 | 10NL/min以下 | 5NL/min以下 | ||||
| 圧力範囲 | 0.5MPaG以下 | ||||||||
| 使用温度範囲 | 5 ～ 35℃ | ||||||||
| 機 器 仕 様 |
サイズ※2 | 標準 | φ34mm× | 352mm | φ51mm× | 610mm | φ42mm×405mm | Φ42mm×393mm | |
| VCR® | 395mm | 666mm | - | ||||||
| 重量 | 500g | 1900g | 630g | 550g | |||||
| 接続 | 標準 | 1/4インチSwagelok®チューブ継手 | |||||||
| VCR® | 1/4インチVCR® | 1/2インチVCR® | - | ||||||
| 精製器材質 | SUS304 | パイレックス管にアクリルパイプで保護 | |||||||
※1 標準状態（0℃、101.325 kPa）での流量（L/min）を示します。 ※2 取付長さ ※3 FPCC-X の場合、O2は不適合
●ここに掲載された数値は実測に基づく代表値であり、規格値ではありません。
※詳細は、パンフレット及び取り扱い説明書をご覧ください。
ファインピュアラー
GC、DC、CCシリーズ
（脱酸素・脱水分専用）カタログ
