脱酸素・脱水精製器


酸素・水分に特化した
脱酸素・脱水精製器
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交換時期が一目でわかる
低純度でもご使用可能Fine Purer GCは茶褐色、
Fine Purer FPDC-SXCは乳白色に変化 -
再生可能
低コストで繰り返し使用可能
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低価格
徹底したコスト管理
主な用途
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1. 熱処理炉、還元炉等各種雰囲気ガスの脱酸素や乾燥
2. 溶接用アルゴンガスの脱酸素や乾燥
3. 生合成
4. スパッタリング、CVD用
5. 酸素濃度計のゼロ点補正用 -
6. 熱分析計用
7. その他半導体用キャリアガス
8. ガスクロ用キャリアガス
9. 各種電球用充填ガスの脱酸素等
10.各種ガスの脱水
超高性能脱酸素カラム
Fine Purer GCは、配管の途中にセットするだけで処理ガスの酸素濃度にかかわらず、
ガス中の酸素を瞬時に吸着し、出口側の酸素濃度を2ppb以下にする超高性能酸素カラムです。
酸素を吸着すると淡緑色から茶褐色に
変色しますのでライフが一目で判ります。
外観 | ![]() |
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タイプ | FPGC-70X | FPGC-RP | FPGC-RX | FPGC-SLX | |||||
適用ガス | He/H2/Ne/Ar/N2/Kr/Xe/D2/CH4/C2H6/n-C4H10/C3H6/C4H6 | ||||||||
不適用ガス | O2/N2O/NO2/CO/Cl2/Br2/HCl/HBr/SiH4/NH3/SO2/H2S/その他高反応性ガス | ||||||||
O2吸着量 | 50mL | 60mL | 200mL | 1500mL | |||||
径X取付長さ | 標準 | φ42X | 165mm | φ25X | 420mm | φ42X | 393mm | φ60X | 390mm |
VCR | 204mm | 463mm | 433mm | - | |||||
接続部 | 標準 | 1/4" 継手 | |||||||
VCR | 1/4" VCR | VCR不可 | |||||||
最大流量* | 5NL/min | 5NL/min | 10NL/min | 10NL/min | |||||
最大圧力 | 0.5MPaG | ||||||||
総重量 | 220g | 260g | 500g | 930g | |||||
精製器材質 | パイレックス管にアクリルパイプで保護 |
※ NLとは273.15K(0℃)で101.325kPaGの状態を示します。
●ここに掲載された数値は実測に基づく代表値であり、規格値ではありません。
超高性能ドライヤー・脱水分と脱酸素
Fine Purer DCは、各種ガス中の微量水分を吸着除去する高性能ドライヤーです。
到達露点は-100℃(13.8nmol/mol)以下になります。
FPDC-SXCは、水分を吸着すると乳白色に変色します。
Fine Purer CCシリーズ「FPCC-X」は、Fine Purer DCとFine Purer GCが一体化したものです。
最初にFine Purer DCで微量水分を除去し、Fine Purer GCで酸素を除去します。
外観 | ![]() |
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タイプ | FPDC-A4 | FPDC-L4 | FPDC-SXC | FPCC-X | |||||
用途 | 一般ガス用 | 大流量用 | 高湿度用 | 脱水分と脱酸素 | |||||
性能 | 水分1ppmの処理量1000m3 到達露点は-100℃ |
水分1ppmの処理量4000m3 到達露点は-100℃ |
水分1%の水分吸収量25g 到達露点-64℃以下 |
DC-A4の1/2の性能 酸素は100mL吸収 |
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適合ガス | He/H2/Ne/Ar/O2/N2/Kr/Xe/CH4/C2H6/C3H8/n-C4H10 | ||||||||
不適合ガス | N2O/NO2/CO/CO2/Cl2/Br2/HCl/HBr/SiH4/NH3/SO2/H2S/D2/C2H2/C2H4/C3H6/C4H6 | ||||||||
径X取付長さ | 標準 | φ34X | 352mm | φ51X | 610mm | φ42X | 405mm | φ42X | 393mm |
VCR | 395mm | 666mm | - | - | |||||
接続部 | 標準 | 1/4" 継手 | |||||||
VCR | 1/4" VCR | 1/2" VCR | VCR不可 | ||||||
最大流量* | 10NL/min | 40NL/min | 10NL/min | 5NL/min | |||||
最大圧力 | 0.5MPaG | ||||||||
総重量 | 500g | 1900g | 630g | 550g | |||||
精製器材質 | SUS304 | SUS304 | パイレックス管にアクリルパイプで保護 |
※ NLとは273.15K(0℃)で101.325kPaGの状態を示します。
●ここに掲載された数値は実測に基づく代表値であり、規格値ではありません。

ファインピュアラー
GC、DC、CCシリーズ
(脱酸素・脱水専用)カタログ