脱酸素・脱水精製器｜産業ガス事業｜大阪ガスリキッド株式会社

脱酸素・脱水精製器

酸素・水分に特化した
脱酸素・脱水精製器

交換時期が一目でわかる
低純度でもご使用可能

Fine Purer GCは茶褐色、
Fine Purer FPDC-SXCは乳白色に変化
再生可能

低コストで繰り返し使用可能
低価格

徹底したコスト管理

主な用途

1. 熱処理炉、還元炉等各種雰囲気ガスの脱酸素や乾燥
2. 溶接用アルゴンガスの脱酸素や乾燥
3. 生合成
4. スパッタリング、CVD用
5. 酸素濃度計のゼロ点補正用
6. 熱分析計用
7. その他半導体用キャリアガス
8. ガスクロ用キャリアガス
9. 各種電球用充填ガスの脱酸素等
10．各種ガスの脱水

超高性能脱酸素カラム

Fine Purer GCは、配管の途中にセットするだけで処理ガスの酸素濃度にかかわらず、
ガス中の酸素を瞬時に吸着し、出口側の酸素濃度を2ppb以下にする超高性能酸素カラムです。

酸素を吸着すると淡緑色から茶褐色に
変色しますのでライフが一目で判ります。

O2吸収前後

外観
タイプ		FPGC-70X		FPGC-RP		FPGC-RX		FPGC-SLX
適用ガス		He／H2／Ne／Ar／N2／Kr／Xe／D2／CH4／C2H6／n-C4H10／C3H6／C4H6
不適用ガス		O2／N2O／NO2／CO／Cl2／Br2／HCl／HBr／SiH4／NH3／SO2／H2S／その他高反応性ガス
O2吸着量		50mL		60mL		200mL		1500mL
径X取付長さ	標準	φ42X	165mm	φ25X	420mm	φ42X	393mm	φ60X	390mm
径X取付長さ	VCR	φ42X	204mm	φ25X	463mm	φ42X	433mm	φ60X	-
接続部	標準	1/4" 継手
接続部	VCR	1/4" VCR						VCR不可
最大流量*		5NL/min		5NL/min		10NL/min		10NL/min
最大圧力		0.5MPaG
総重量		220g		260g		500g		930g
精製器材質		パイレックス管にアクリルパイプで保護

※ NLとは273.15K（0℃）で101.325kPaGの状態を示します。
●ここに掲載された数値は実測に基づく代表値であり、規格値ではありません。

超高性能ドライヤー・脱水分と脱酸素

Fine Purer DCは、各種ガス中の微量水分を吸着除去する高性能ドライヤーです。
到達露点は-100℃（13.8nmol/mol）以下になります。
FPDC-SXCは、水分を吸着すると乳白色に変色します。
Fine Purer CCシリーズ「FPCC-X」は、Fine Purer DCとFine Purer GCが一体化したものです。
最初にFine Purer DCで微量水分を除去し、Fine Purer GCで酸素を除去します。

外観
タイプ		FPDC-A4		FPDC-L4		FPDC-SXC		FPCC-X
用途		一般ガス用		大流量用		高湿度用		脱水分と脱酸素
性能		水分1ppmの処理量1000m³ 　到達露点は-100℃		水分1ppmの処理量4000m³ 　到達露点は-100℃		水分1%の水分吸収量25g 到達露点-64℃以下		DC-A4の1/2の性能酸素は100mL吸収
適合ガス		He／H2／Ne／Ar／O2／N2／Kr／Xe／CH4／C2H6／C3H8／n-C4H10
不適合ガス		N2O／NO2／CO／CO2／Cl2／Br2／HCl／HBr／SiH4／NH3／SO2／H2S／D2／C2H2／C2H4／C3H6／C4H6
径X取付長さ	標準	φ34X	352mm	φ51X	610mm	φ42X	405mm	φ42X	393mm
径X取付長さ	VCR	φ34X	395mm	φ51X	666mm	φ42X	-	φ42X	-
接続部	標準	1/4" 継手
接続部	VCR	1/4" VCR		1/2" VCR		VCR不可
最大流量*		10NL/min		40NL/min		10NL/min		5NL/min
最大圧力		0.5MPaG
総重量		500g		1900g		630g		550g
精製器材質		SUS304		SUS304		パイレックス管にアクリルパイプで保護